创业项目背景图片
某大中型半导体器件制做制造业的企业坐落在长角形省市,主要分娩晶圆和清理芯片。在分娩方式中,晶圆分割和镜面抛光一阶段诞生大规模碾磨液焦化废水,单日废气排放物量约50吨。考虑到焦化废河中有高含量悬浮物物、金属质亚铁离子及有机化学“化学试剂,简单废气排放物会对自然环境会造成严峻污染源,制造业的企业紧缺建造专业的清理设备。
污废水 组成成分及源于
碾磨液化工废水最重点因素于晶圆生产制作中的催化机械化打蜡 (CMP)工艺流程,最重点的固体废弃物也包括:
悬浮按钮科粒物
:二脱色硅、脱色铝等考虑科粒,粒度分布在0.1-1μm,溶液浓度达2000mg/L。
重金属铁离子
:铜、铁、锌等,发源打磨抛光垫划痕及晶圆面不锈钢层,铜铁离子浓硫酸浓度约50mg/L。
有机化学含有剂
:也包括单单从表面灵活性液、脱硫剂等,COD值在800-1200mg/L。
酸酸碱度性物品
:pH值动荡大,通常情况下在2-11相互间。
除理工艺设计过程
争对废水办理方法因素,通过“预办理+什么是生化+深度的办理”组合成技艺:
上下调整池
:营养均衡饮用水质容量,加上强酸强碱调pH至普通。
混凝土沉淀出的
:加药PAC(缔合氯化铝)和PAM(聚乙烯酰胺),的还原悬停物和橡胶胶体部分,沉降后SS的还原率>90%。
催化反应空气氧化
:利用Fenton制剂(H₂O₂+Fe²⁺)挥发设计增长剂,COD我们要除率达60%。
菌物加工处理
:MBR膜生物体反应迟钝器进两步分解已满巧妙物,COD调至100mg/L下列。
正离子互相交换
:专业级硅橡胶吸出铜正离子,满水后铜份量<0.5mg/L。
砂滤+特异性炭吸附
:确保出水量清辙,完成《污水处理终合排出规范化》(GB8978-1996)两级规范化。
结果是功能
机系统启动稳定可靠后:
SS<10mg/L,COD<60mg/L,铜亚铁离子<0.3mg/L。
使用率达40%,结余达到标准排出,年少废液排出1.7万吨。
加工成本费约15元/吨,远远低于职业均匀。