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半导体含氟废水处理案例|半导体含氟废水处理方法

顶目经验 该半导体器件加工制造中小型企业靠近豫东地方,主要生產一体化电路设计基带芯片,日减排含氟生产废水治理 约800吨。伴随日本节能环保规则从而提高,已有处置服务设施始终无法拥有氟化物减排含量高于5mg/L的新规范要求,中小型事业投资费用1700万元新修专业的含氟生产废水治理 处置模式。 废水处理工艺组分及来历 焦化废水重要的渠道于集成ic手工制造操作过程中的刻蚀制作程序和难以清理制作程序,重要的影响物包扩: 氟铝离子氧浓度:300-800mg/L pH值:2- 所含少量出硅酸盐、磷酸 微量分析血本属如铜、镍等 加工的工艺的流程 选取"预除理+催化石雕文化沉淀+广度除理"搭配技术: 调节器池:均衡化水质监测器发电量,快速设置pH上线监测器 考试内容一级不起作用池:加药系统氢空气氧化钙,把握pH至7-8,行成氟化钙悠长岁月中 一个乳浊液池:乳浊液剥离氟化钙废水 一级体现池:加药系统氯化钙和整合氯化铝,进一次删去多余氟铝离子 2级结晶池:再次结晶分割 砂滤整体:删去自动隐藏物 活性氧炭气体吸附:清掉生产物和氢化物发生器高价属 淤泥解决操作系统:板框压滤出现脱水,淤泥含水分率下降60%之下 决定郊果 模式正常运作安稳后,溢水环境质量: 氟铝离子酸度:2.1-3.8mg/L pH值:6.5-7. SS<5mg/L 巨资属水分含量均不低于验出限 截然考虑《手机工业园水水环境有害特性污染物规范标准》(GB39731-2020)要,常年抑制氟化物污染物约180吨。

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