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半导体加工废水处理案例|半导体加工废水处理方法

顶目原型 该半导体材料行业行业为于长三边形中南部,注意产量84英尺和124英尺晶圆,日排污废出水量约2000吨。考虑到半导体材料行业产量工艺流程复杂性,废液组分产品且含多种不同难生物降解物质,行业本身净化加工场地设施未能需要满足必将认真的环境保护排污标,故投入三千万元兴建行业废液净化加工站。 工业废水基本成分及的来源 该企业废污水首要构成几类: 含氟生活污水:的来原于晶圆蚀刻、的清洗制作工序,氟铝离子溶液浓度自由高达2000mg/L; 无机化学废水处理:来光刻、定影等加工,带有异丙醇、二甲苯等无机化学稀释剂,COD值在5000mg/L的样子; 酸碱性电镀废水:有于洗和表皮治疗过程,pH值浮动大; 含铜主轴电镀废水:是来自于主轴电镀和金屬石油化工艺,铜铝离子有机废气浓度约150mg/L。 处里工艺设备操作流程 根据差异质地的工业废水,使用"种类回收利用+分质治理+尾部纵深治理"的组合式工艺技术: 含氟废渣工作线: 多级普通机械发展:先加药系统氯化钙调结pH至6-7,后加入PAC和PAM斜管沉淀出的池发展; 几丁质酶钝化铝吸出:确保氟阳离子氨水浓度低于8mg/L一下。 设计污水处置线: 微电解法响应:铁碳活性炭过滤器床预整理提升废气可什么是生化性; UASB水解酸化池反响器:HRT=24h,COD取除率65%; MBR膜生物技术发生植物细胞培养:适用PVDF中空中纤维棉膜,出液COD<50mg/L。 酸性废水处理工艺结合装置: 系统自动pH调接:经过网络监测数据仪调控加酸加碱量; 斜板沉淀自己池沉淀自己:清除结合存在的浮动物。 含铜生活污水除理: 化学上的析出:加药系统NaOH可以调节pH至9-10,演变成氢脱色铜析出; 铝化合物交流:保证 铜铝化合物质量浓度<0.3mg/L。 淬硬层操作单无: 臭氧杀菌离子液体钝化:进一个步骤可降解难分解成有机会物; 活性酶炭滤过:剔除浑浊度和氢化物发生器的污染源; 紫外光线杀菌:为了保证满水后微生态学指数公式不合格。 然后效率 创业项目开机进行后,满水后污水水质稳定可靠高于《电子元器件行业水环境固体废弃物减排细则》(GB 39731-2020)尤为减排标准值规定要求,至少氟化物<5mg/L、COD<30mg/L、铜<0.3mg/L。年年可减轻氟化物减排约120吨,COD减排约400吨,再利用水土资源的约30万吨。操纵系统自行化数量高,开机进行投资成本操纵在8.5元/吨水以内。

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