半导体晶圆划片废水怎么处理方法|半导体晶圆划片废水处理案例
工作经验
该机构为亚洲位置技术领先的光电器件首测机构,属于珠四角位置,主要的开展高档清理器的划区和封口考试。会因为本县坏保让要严,机构决策制定废渣零废气排放水利。工程项目于2030年加载,202两年6月建设完工投运,清理面积为200吨/日,总项目投资约2000万元左右。
废水处理方法基本成分及收入
此项必要性片区污废水 具接下来优势特点:
高浓硫酸酸度氟化物,重要来晶圆切工后的拆洗生产工序,氟阳离子浓硫酸酸度高至150-200mg/L
含带微米级硅粉颗粒剂,比表面积多在100-500nm左右
无机供电量较高,COD在500-800mg/L
包含的少量高价属如铅、镉等
纯水电导率高,通常情况下在2000-3000μS/cm
进行处理的工艺工作流程
为完成零释放工作目标,流程设汁侧重于考虑一下废水处理方法分类别分类整理和资源量回报:
废渣类别提取整体
:将含氟污化工废水 与另外的污化工废水 分别提取
电学奠定除氟
:使用二级钙盐析出法,相互配合效率高析出池
高等 氧化反应正确处理
:二钝化碳崔化钝化化学降解难进行处理设计物
膜提液模式
:利用DTRO碟管式反渗,果汁倍率为10倍
汽化沉淀
:MVR自动化空气挤压再挤压化掉器治理浓水
粗糙系統
:将结晶体盐晾干后为制造业副护肤品外售
净化处理疗效
系統启用数据资料彰显:
氟化物弄掉率>99.9%,溢水氟正离子<1mg/L
COD总清掉率>98%,满水后COD<20mg/L
水資源回收并率>95%,仅有极富心得盐
年可收购 高品行循环水约16万吨
心得盐纯净度到达工业化的级标准化,实行信息化用
投资项目不仅仅确保了焦化废水污水处理技术出,还使用环境资源出售追求了约8070万/年的更多收获。