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半导体生产废水处理案例|半导体生产废水处理方法

业务蓝本 该半导体芯片造成经济区处于华北国家,总投资者已超200亿,具体加工12厘米晶圆和品质可靠封装形式成品。经济区日直接进行直接排放废供水量约5000吨,是指好几种加工污化工废水 ,进行清理一定的难度大。項目想要污化工废水 进行清理后达成《电子技术工业化的水被污染源直接进行直接排放基准》(GB 39731-2020)有点直接进行直接排放标准值,要素工业废水处理率不少于60%。 废污水材料及來源 含氟焦化废水:主要的根据晶圆蚀刻、洗涤工步,氟化合物有机废气浓度高达hg200-500mg/L,pH值下跌大 无机污水:光刻、成像、去胶等程序生成,COD酸度300-800mg/L,包含异丙醇、异丙醇等无机溶液 含铜焦化废水:主轴电镀、普通机械设备机械设备磨光(CMP)生产工序造成,铜阴离子有机废气浓度50-150mg/L 酸碱性化工废水:生产设备进行维护清洁、废液清洗等重要环节引起,pH值在2-12之前上下波动 考虑污水:CMP步骤生产,包含纳米技术级二氧化的硅顆粒 整理的流程图 选择"分类管理收录+分质净化后处理+进一步净化后"的组装加工制作工艺 : 含氟废污水除理线 : 两极电化学结晶:先加药氯化钙自动调节pH至6-7,加上入PAC和PAM二沉池结晶 亲水性脱色铝降解:狠抓氟化合物盐浓度高于5mg/L如下 飞灰经板框压滤后下令让行业防范 有机酸电镀废水处置线 : 微电解法法预除理:铁碳微电解法法溶解大原子有机会物 UASB厌氧影响器影响器:HRT=24h,COD避开率>60% MBR膜怪物反映器:应用PVDF双层黏胶纤维膜,通量15LMH 含铜废渣补救线 : 物理化学沉垫:加药系统NaOH调准pH至9-10,产生Cu(OH)2沉垫 正铁离子对调:有级环氧树脂对调加强组织领导铜正铁离子<0.3mg/L 电解设备法收废:位置废液经电解设备法收废废金属铜 基础性办理操作系统 : 设定池:均匀水体质量发电量,设爆气打料 水泥混凝土放置:污泥脱水结合水解酸化池剂消除氢氧化铁的物质 三氧催化反应硫化:挥发难挥发生产物 反进行渗透系统性:脱盐率>98%,产水工业废水处理于生产销售线 污水治理 系统的 : 废水浓缩造成池:固状质量浓度从1%优化至3% 离心力脱水器:假如PAM护理,泥饼含水分率<75% 高湿干化:方面厌氧颗粒污泥干化至含水分率30%一些 最终能够的效果 建设项目成立执行后,基本指标图平稳考核规则:氟化物<5mg/L、COD<30mg/L、铜化合物<0.3mg/L、pH 6-9。工艺废水处理水水源符合GB/T 19923-2005工艺用水的规则,工艺废水处理率65%,年节约用电鲜活水剂量约140万吨。厌氧颗粒污泥会产生量下降40%,有风险废弃物处治成本投入减少35%。操作系统半电气自动化限度高,迅雷在线参数监测参数与环保性团队实时时间连接网络。

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