半导体芯片加工废水怎么处理|半导体芯片加工废水如何处理
大型项目历史背景
该半导商家建在长三角经济圈型省市,主要的产量方式8寸大和12寸大晶圆,日排放口出废蓄水量约2000吨。伴随产量方式加工过程更复杂,废水内内含很多种难化学降解巧妙物和天价属阳离子,过去加工办法不好够满足进一步认真的排放口出准则。
污废水 材质及由来
化工化工工业废水处理工艺处理关键起源于四种基本原则:晶圆打磨化工化工工业废水处理工艺处理所含很大硅粉和打磨液残渣;无机化学机械制造拋光化工化工工业废水处理工艺处理有效氢氧化铁硅和考虑顆粒;刻蚀除污化工化工工业废水处理工艺处理所含氟化物、铜铝离子等血本属;光刻流程化工化工工业废水处理工艺处理则所含光阻剂等无机污染源物。水质检测性能是COD高(800-1500mg/L)、氟化物盐浓度高(200-400mg/L)、悬浮按钮物多且所含少量血本属。
加工处理施工工艺环节
使用"化学预治疗+什么是生化治疗+深度的治疗"的结构加工:
调节器池稳定水的硬度发电量
沥青混凝土凝固洗去悬停物和悬浊液物质
耐腐蚀积累法帮忙工作氟化物,加药系统钙盐建成氟化钙积累
淀粉水解碱化池提升 生活污水可生物化性
使用硫化池挥发有机质造成的污染物质
特异性炭吸附物塔采取深度的处置
膜离心分离设备确定留水水质量相对稳定
针对于含铜废污水单一快速设置阴离子交互模式,回收分类处理有社会价值的金属件铜。
后面效率
工程成立后程序运行安全,溢水COD<50mg/L,氟化物盐密度<5mg/L,铜化合物盐密度<0.3mg/L,某项指標均远远高于的国家《网络工业化的水生态破坏物进行排卸标准的要求化》(GB 39731-2020)。年均可避免COD进行排卸约300吨,氟化物进行排卸约50吨,收集铜废金属约2吨,完成了情况国家经济效率与国家经济国家经济效率的互赢。