该晶圆产生厂坐落在华东东南部东南部,具体生育8厘米半导体材料晶圆,平均废液排出量约800吨。可能生育方式中应用丰富氢佛酸做晶圆蚀刻,导至废液中氟化物含量到达200-300mg/L,远超国家的排出规则(10mg/L接下来)。
电镀废水化学物质及主要来源
生活污水重要产于这几个部门:
晶圆蚀刻繁琐流程
:含高氧浓度氟化物(HF)、硝酸钠及大量天价属
化学反应机诫镜面抛光(CMP)废液
:含奈米级硅顆粒、设计络合剂
机器设备除垢废污水
:含异丙醇、氯离子等巧妙物
处理制作工艺步骤
适用"无机化学奠定+水泥混凝土奠定+长度脱水"一级加工处理操作系统:
考试内容一级处里
:污泥脱水氯化钙和氢空气氧化钙,出现氟化钙沉淀物中,氟化物清理率达85%
二级考试解决
:加入PAC(聚合物氯化铝)和PAM(聚丙烯塑料酰胺),除掉电解质溶液态危害物
三级分销进行处理
:经由多导电介质滤水器和气体吸附性炭气体吸附,满水后氟化物溶液浓度安全在8mg/L一些
首要仪器属于:pH自功控制软件系统、斜管放置池、板框压滤设备(废水脱水处理)。
最终能够治疗效果
品牌运作5年监测网资料体现:
氟化物差不多渗透压:7.2mg/L(高出祖国规范标准)
COD彻底清除率:92%
淤泥含水量率:≤65%
年收回氟化钙副的产品约150吨,保证 影视无害化利于