该厂为8屏幕尺寸晶圆生产加工线模块化的超注射用水软件,每日引发含硅废污水150吨。废污池中虽无血本属,但硅浓度高易积灰,且电阻器率需做到18MΩ·cm才能够使用。原来除理工学艺不可能做到新实行的《网络化工业水影响物的产生标准的要求规范》(GB39731-2020)特备的产生允许值。
废水处理组成基本特征
常见水污染
:溶液硅(200-300mg/L)、颗粒物硅(粒级0.1-1μm)
特别的耍求
:TOC<10μg/L,硼含磷量<5μg/L
污水水质因素
:低电阻率(<50μS/cm)但硅有机物社会形态复杂性
处置加工工作流程
去创新应用"梯级膜剥离+电去铝离子"组合式工序:
微滤预加工处理
:1μm陶瓷图片膜手机拦截大颗粒肥料硅,通量恢复80LMH
化合物变换硅胶粘合剂
:D201大孔硅胶粘合剂选性气体吸附硅酸分子式
二级考试RO系统软件
:一号段回收处理率60%,第二点段按照高脱硼膜元器件封装
EDI电去亚铁离子
:功率黏度2A/m²,不间断出掉的残留物铁离子
太阳光的紫外线灭菌
:254nm紫外线灯线分子量40mJ/cm²
水平成效
开发管理专用箱阻硅剂(充分胺类复合型物),减轻膜被污染的时间3倍
EDI版块什么是创新流道制作,硅清掉率提升自己至99.8%
优酷云硅分折仪(測量的范围0.1-500μg/L)满足精淮把握
进行取得成效
经其次方论文检测:
总硅从280mg/L下降0.05mg/L
硼含碳量从8μg/L降到0.3μg/L
设计再利用率从原40%大幅提升至68%
膜换洗周期怎么算延长时间至5年,年作业成本低降底35%