某半导体设备存储芯片营造厂在晶圆生产制造阶段中，使用的硅烷对其进行硅外加植物生长，空气干洗塔会产生较高浓度值含硅废液。废液更具pH冲击大（2-11）、硅分子量高的结构特征，传统的加工技术易现身硅垢堵死困难。 废水处理工艺基本成分及来源地 生活污水主要有效成分为： 融化性硅酸盐 ：SiO₂氧浓度达1000-1500mg/L 浓盐酸/氢阳极氧化钠 ：清洗塔酸性清洗液残余的 科粒硅 ：纳米技术级SiO₂氢氧化铁 痕量砷 ：原辅料溶物融入 治理艺步骤 科学创新使用"二级结合+膜过滤器+多效蒸发晶体"加工制作工艺 ： 特级结合 ：用CaO调控pH至4-5，合成硅酸钙沉淀出的，硅清理率60%。 两级与 ：加Na₂CO₃将pH加强至9，进一大步奠定乘余硅，串连用镁剂除砷。 反渗透装置控制系统 ：0.02μm淘瓷膜滤过奈米级硅颗料，通量安全在80LMH。 MVR多效真空泵 ：浓缩液高盐废水处理，沉淀出Na₂SO₄副物品，水工业废水处理率超90%。 结果治疗效果 总硅从1500mg/L降下来5mg/L下列 砷纯度从0.8mg/L降下来0.01mg/L 系統无积灰操作高出2年 今年收回浓盐酸钠结晶体约800吨